VPSA制氧装置的工艺流程
A点过滤后的空气经风机输送，经分子筛和活性氧化铝进入吸附塔A或B。当空气流经塔内分子筛固定床时，空气中的氮分子在吸附力的作用下扩散到分子筛固体中。氧分子和氩原子通过床层进入缓冲罐，由氧气压缩机加压至客户使用压力。然后通过C输送至储气罐供用户使用。
经过一段时间的吸附，分子筛颗粒中充满了氮分子，达到了吸附的饱和阶段。此时，进气门关闭，塔内富氧空气用来冲洗刚刚抽真空的另一个塔。当压力降到一定值时，均压阀关闭，真空泵入口阀打开，对塔体进行真空，氮气从B点排出。
经一定真空度后，用另一塔富氧气体和缓冲罐部分产品气洗涤分子筛，使吸附剂完全解吸。吸附剂解吸过程完成后，用产品气加压塔，充入一定低真空值后关闭缓冲阀。打开风机出口阀，对吸附塔加压，为下一次吸附做准备。
近年来， 简化工艺流程是VPSA制氧工艺发展的趋势之一。由过去的三床、四床向单床或两床发展。
三床制氧工艺鼓风机连续工作，压力波动小，同时氧气产品压力高，波动小。同两床制氧工艺比较，主要存在以下不足：
1)与两床制氧工艺吸附、解吸时间相同的条件下，三床循环周期时间比两床长1/3,吸附剂用量增加。
2)吸附塔和切换阀的数量增加。
3)鼓风机平均排气压力和温度高于两床，排气温度高，直接影响床层吸附温度，吸附剂的吸附能力下降。排气压力高，鼓风机能耗增加。同时，国外知名VPSA制氧企业基本上都采用两床工艺。
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