深冷法空气分离原理以空气为原料，经过压缩、净化、用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同，通过精馏，使它们分离来获得氮气和氧气。

压缩空气经空气净化系统除去油、水、尘埃等杂质后进入装有沸石分子筛的吸附塔，空气中的氮气、二氧化碳、水蒸汽等被分子筛大量吸附，而氧气由于扩散速率大而穿过吸附剂，而实现氧、氮分离。

当吸附塔内吸附的氮等杂质达到饱和后，降低压力使沸石分子筛解吸再生，得以重复循环使用。

采用两个吸附塔在PLC的控制下循环工作，连续产出高品质的氧气。

在一定温度下，低纯度氮气中的残氧与碳载催化剂提供的碳发生氧化反应；C﹢O2=CO2生成的CO2经变压吸附工艺去除及深度脱水，得到高纯度氮气。